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      BROOKS 5850E質量流量控制器 質量流量計

      簡要描述:BROOKS MFC 氣體質量流量計ODEL型號:5850EGAS氣體:N2FLOW RANGE流量:0-30SLPMINPUT PRESSURE進口壓力::0.4MpaOUTPUT PRESSURE出口壓力:0.1MpaO-RING SEAL 密封::VitonFITTING氣路接頭::1/4“SWGOUTPUT 信號輸出:0-5VPower電源:&amp;amp;amp;amp;amp;amp;amp;amp;#177;15V

      • 產品型號:
      • 廠商性質:代理商
      • 更新時間:2022-10-09
      • 訪  問  量:4695
      詳情介紹

      BROOKS 5850E型流量控制器能精確的測量和控制氣體流量。其核心是一個可拆卸的測量氣體流量的探頭,該探頭產生跟流量成線性比例的電輸出信號用來顯示、記錄和/或控制。該裝置不需要氣體壓力進行連續的監測和重新調整就可以提供穩定的氣體流量。

      設計特性:

      ·易維護

      ·快速響應設定變化

      ·可忽略過沖/下沖影響

      ·可拆除傳感器

      ·對安裝方位不要求

      ·較大的流量控制范圍(大可達30 sl/min N2)

      ·外置零點和量程調節電位器

      ·跳線可設定軟啟動

      ·可設定外部電磁閥控制

      ·不要求中止流量

      ·常閉閥(可選常開閥)

      ·可兼容其他流量控制器

      ·抗腐蝕



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