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      Brooks 金屬轉子流量計-質量流量計

      簡要描述:Brooks 金屬轉子流量計的性能基于廣泛使用的 5850E 和 i 系列 MFC,可在高潔凈環境下測量和控制高壓氣體流量并具有經驗證的穩定性。

      • 產品型號:
      • 廠商性質:代理商
      • 更新時間:2021-03-08
      • 訪  問  量:761
      詳情介紹

      特點

      • 長期零點穩定性,每年變動小于滿量程的 0.2%
      • 能夠根據命令變化在 3 秒內完成設置并且過沖/下沖可忽略不計
      • 流量范圍寬 - 3 sccm 至高達 30,000 slpm
      • 高壓額定值 - 高達 1,500 psi
      • 可選增強型內部后處理工藝 - 5µ 英寸 Ra(平均值)
      • 可拆卸式流量傳感器
      • 不受安裝角度影響
      • 其他質量流量控制器在機械和電氣設計方面兼容
      • TTL 兼容型"閥關閉"和吹掃功能

      優勢

      • 全金屬流路可確保氣體純度并降低泄漏風險
      • 在廣泛的工藝和應用范圍內擁有經認可的長期穩定性和準確性
      • 由于性能可靠,因此投資回報率出眾
      • 采用可拆卸式流量傳感器,因此無需對氣壓進行連續監測和重新調節
      • 由于模擬量僅為輸入/輸出,因此易于安裝和保養

      應用

      • 光端機
      • LED/MOCVD
      • 半導體
      • 太陽能


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