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      產品展示 / products 您的位置:網站首頁 > 產品展示 > 氣體質量流量計 > Brooks質量流量計 > Brooks SLA5851S 質量流量計

      Brooks SLA5851S 質量流量計

      簡要描述:Brooks SLA5851S 質量流量計關鍵應用:化學品與石化分析和試驗過程;實驗室和分析系統;生命科學實驗室;薄膜氣相沉積;熱處理、切割等其他熱過程;真空應用。

      • 產品型號:
      • 廠商性質:代理商
      • 更新時間:2021-03-08
      • 訪  問  量:750
      詳情介紹

      關鍵應用

      • 化學品與石化分析和試驗過程
      • 實驗室和分析系統
      • 生命科學實驗室
      • 薄膜氣相沉積
      • 熱處理、切割等其他熱過程
      • 真空應用

       

       

      17025 Certified Devices (Includes linearity, excludes calibration system measurement uncertainty, per SEMI E69)

      ±0.6% of SP (20- FS)

      ±0.12% of FS (<20% FS)

      1100 slpm up to 2500 slpm: ±0.6% of FS

       

      Standard Devices (includes uncertainty from reference standards

      ±0.9% of SP (20- FS)

      ±0.18% of FS (2-20% FS)

      1100 slpm up to 2500 slpm: ±1.0% of FS

      模擬通訊

      0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA

       

      數字通訊 DeviceNet™
      EtherCAT®
      EtherNet/IP™
      FOUNDATIONTM Fieldbus
      Profibus®
      PROFINET
      RS-485

       



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