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      Brooks質量流量計

      簡要描述:Brooks質量流量計的特點是高精度、高零點穩定性以及高重復性,而上述特性正是行業對質量流量測量和控制技術的需求所在,產品設計采用先進的可配置多氣體/多量程功能,非常適用于各 OEM:尺寸小巧,可輕松集成至緊湊的設備空間內并有助于加快安裝

      • 產品型號:
      • 廠商性質:代理商
      • 更新時間:2023-07-07
      • 訪  問  量:1174
      詳情介紹
      • 流量響應時間(完成時間)<0.75 s
      • 創新型 MEMS 傳感器和*的 PID 算法
      • 尺寸小巧,不足常規熱式MFC的 一半:1'' x 3''x 4'' (25 mm x 76 mm x 101 mm)
      • 本地操作界面 (LOI) 選項可簡化設置和操作;免費提供 LabVIEW VI 下載以進行設備監測和調零
      • 通過 RS-232 實現數字化功能

      優勢

      • 非常適用于各種常見的無腐蝕性氣體
      • 響應速度快,可在切換工藝配方時確保各步驟的迅速完成
      • 非常適用于各 OEM:尺寸小巧,可輕松集成至緊湊的設備空間內并有助于加快安裝
      • 可選本地操作界面 (LOI) 是本地指示、設定值控制和設備配置的一站式解決方案;無需借助遠程二次儀表
      • 擁有多種通信方式,可輕松滿足用戶需求

      應用

      • 熱處理、切割/焊接等其他熱式工藝
      • 太陽能/薄膜物理氣相沉積 (PVD) 系統
      • 用于測量和控制反應物、校準和樣品氣體流量的分析設備


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